固定式碳酰氟檢測(cè)儀是用來檢測(cè)環(huán)境中的碳酰氟濃度，并在其濃超標(biāo)時(shí)報(bào)警。碳酰氟又名氟光氣，主要用作半導(dǎo)體制造裝置的清洗氣和蝕刻氣，也用于有機(jī)合成的中間體、氟化劑；碳酰氟為無色、有刺激性的有毒氣體，遇水會(huì)快速水解，生成二氧化碳和氟化氫。

產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)

檢測(cè)氣體：碳酰氟COF2,氟光氣

產(chǎn)品型號(hào)：ERUN-PG51-CF

分辨率：0.001ppm（0-10ppm高精度）/0.01ppm（0～10 ppm）；0.01ppm（0～100 ppm），0.1ppm（0～1000 ppm），1ppm（0～5000 ppm以上）；0.01MG/L；0.1%LEL；0.01%，0.001%Vol，其他分辨率可訂制

檢測(cè)原理：電化學(xué)、催化燃燒、紅外、熱導(dǎo)、半導(dǎo)體、PID光離子等（根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境和用戶需求訂制）

檢測(cè)精度：≤±3%F.S；重復(fù)性：≤±2%

線性度：≤±2%；不確定性：≤±2%

響應(yīng)時(shí)間：T90≤20秒；恢復(fù)時(shí)間：≤30秒

信號(hào)輸出：總線制RS485信號(hào)，分線制4~20mA；選配：0~20mA、1~5V、0~5V、0~10V、無線傳輸、網(wǎng)絡(luò)傳輸、短信報(bào)警

工作電壓：12~30VDC直流電，單臺(tái)設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)電源為24V、1A或大于1A直流電

報(bào)警方式：默認(rèn)1路，可選2路無源接觸點(diǎn)（干節(jié)點(diǎn)）輸出，三級(jí)報(bào)警，報(bào)警點(diǎn)可設(shè)置現(xiàn)場(chǎng)聲光報(bào)警

防護(hù)等級(jí)：IP65防水防塵

防爆功能：ExdllCT6Gb；隔爆型

界面語言：默認(rèn)中文，中英文可選

顯 示 屏：1.7高清彩屏

顯示方式：單通道顯示

安裝方式：管道式、壁掛式

工作方式：在線擴(kuò)散式/管道式檢測(cè)。選配：泵吸式/流通式

報(bào)警模式：低報(bào)警、高報(bào)警、區(qū)間報(bào)警

校準(zhǔn)功能：零點(diǎn)自動(dòng)跟蹤、目標(biāo)點(diǎn)多級(jí)校準(zhǔn)

誤操作識(shí)別：自動(dòng)識(shí)別并阻止

數(shù)據(jù)恢復(fù)：全部恢復(fù)，選擇性恢復(fù)（濃度、報(bào)警、全部）

日志記錄：校準(zhǔn)日志、維修日志、故障記錄、故障解決對(duì)策

工作環(huán)境：溫度-40℃~+70℃、濕度0-99%RH

重量：1.5KG

預(yù)處理（選配）：常溫高濕預(yù)處理系統(tǒng)、高溫高濕度預(yù)處理系統(tǒng)、高溫高濕高粉塵預(yù)處理系統(tǒng)

此款儀器為固定在線式安裝，可連接輸氣管道；直流電供電，中英文雙語可切換；防護(hù)等級(jí)為IP65，防爆類型為隔爆型，外殼采用防爆材料制成，適用于各種復(fù)雜工況；1.7寸高清彩色顯示屏，清晰顯示濃度、時(shí)間、溫濕度等信息。

碳酰氟是一種刺激性強(qiáng)、無色有毒的氣體，對(duì)人體呼吸道粘膜和皮膚有強(qiáng)烈刺激性作用，是新一代工業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備的清洗和刻蝕材料，雖然對(duì)環(huán)境的污染不大，但是對(duì)人體健康有很大的危害。在制備、生產(chǎn)以及使用的過程中要注意檢測(cè)其濃度變化，可使用固定式碳酰氟檢測(cè)儀檢測(cè)。