超純水電阻率溶解氧在線監(jiān)測傳感器分析儀
簡要描述：ERUN-SZ系列超純水電阻率溶解氧在線監(jiān)測傳感器分析儀專為半導(dǎo)體、電子、光伏、制藥、電廠鍋爐及工業(yè)超純水系統(tǒng)設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)超純水電阻率、電導(dǎo)率及微量溶解氧（DO）的24小時(shí)在線連續(xù)監(jiān)測。設(shè)備采用高精度電極與熒光法微量溶氧檢測技術(shù)，具備自動(dòng)溫度補(bǔ)償、實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)傳輸、超限報(bào)警及RS485/4-20mA輸出功能，適用于晶圓清洗、EDI超純水、鍋爐補(bǔ)給水及純化水系統(tǒng)水質(zhì)控制。
產(chǎn)品型號：ERUN-SZ系列- 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間：2026-05-18
- 訪 問 量：199
產(chǎn)品概述
ERUN-SZ系列超純水電阻率溶解氧在線監(jiān)測傳感器分析儀專為半導(dǎo)體、電子、光伏、制藥、電廠鍋爐及工業(yè)超純水系統(tǒng)設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)超純水電阻率、電導(dǎo)率及微量溶解氧（DO）的24小時(shí)在線連續(xù)監(jiān)測。設(shè)備采用高精度電極與熒光法微量溶氧檢測技術(shù)，具備自動(dòng)溫度補(bǔ)償、實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)傳輸、超限報(bào)警及RS485/4-20mA輸出功能，適用于晶圓清洗、EDI超純水、鍋爐補(bǔ)給水及純化水系統(tǒng)水質(zhì)控制。產(chǎn)品符合電子級超純水在線監(jiān)測需求，可有效降低水質(zhì)波動(dòng)引發(fā)的氧化、腐蝕、結(jié)垢及工藝污染風(fēng)險(xiǎn)。
在半導(dǎo)體、電子制造、醫(yī)藥純化水及鍋爐補(bǔ)給水系統(tǒng)中，超純水水質(zhì)直接關(guān)系到產(chǎn)品良率、設(shè)備壽命與工藝穩(wěn)定性。尤其是電阻率和溶解氧（DO）兩項(xiàng)關(guān)鍵指標(biāo)，一旦出現(xiàn)波動(dòng)，容易導(dǎo)致晶圓污染、金屬氧化、鍋爐腐蝕以及工藝失控等問題。贏潤集團(tuán)研發(fā)生產(chǎn)的ERUN-SZ系列超純水電阻率溶解氧在線監(jiān)測分析儀，參照《ASTM D5127-13(2018)電子和半導(dǎo)體行業(yè)超純水標(biāo)準(zhǔn)指南》設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)對超純水電阻率及微量溶解氧的24小時(shí)連續(xù)在線監(jiān)測，廣泛適用于半導(dǎo)體、電子、光伏、制藥、電廠及高純水系統(tǒng)等行業(yè)。
超純水電阻率溶解氧在線監(jiān)測分析儀產(chǎn)品特點(diǎn)：
★采用高精度電阻率與微量溶解氧檢測技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)超純水水質(zhì)連續(xù)在線監(jiān)測。
★依據(jù)《ASTM D5127-13(2018)電子和半導(dǎo)體行業(yè)超純水標(biāo)準(zhǔn)指南》設(shè)計(jì)，滿足電子級超純水監(jiān)測需求。
★支持電阻率、電導(dǎo)率及微量溶解氧（DO）同步分析，監(jiān)測數(shù)據(jù)更全面。
★配備自動(dòng)溫度補(bǔ)償功能，減少環(huán)境溫度變化對測量結(jié)果的影響。
★具備24小時(shí)實(shí)時(shí)在線監(jiān)測能力，可及時(shí)發(fā)現(xiàn)超純水系統(tǒng)異常。
★采用高靈敏度傳感器，能夠?qū)崿F(xiàn)ppb級微量溶解氧檢測。
★支持4-20mA、RS485等工業(yè)通訊方式，可接入PLC、DCS及智慧工廠系統(tǒng)。
★具有超限報(bào)警與數(shù)據(jù)存儲功能，方便歷史數(shù)據(jù)查詢與趨勢分析。
★設(shè)備穩(wěn)定性高、維護(hù)量低，適合長期連續(xù)運(yùn)行。
★工業(yè)級結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，適用于電子車間、純水站及復(fù)雜工業(yè)環(huán)境。
★響應(yīng)速度快，可實(shí)時(shí)反映超純水電阻率及溶解氧變化趨勢。
★有助于降低人工化驗(yàn)頻率，提高超純水系統(tǒng)自動(dòng)化管理水平。
超純水電阻率溶解氧在線監(jiān)測分析儀技術(shù)參數(shù)：
一、超純水電阻率在線監(jiān)測分析儀技術(shù)參數(shù)：
電阻測量范圍： | 0.01 電極 50～20000kΩ·cm 0.1 電極 5～20000kΩ·cm 1.0 電極 0.5～20000kΩ·cm 10.0 電極 0.05～20000kΩ·cm（其他量程定做） |
電導(dǎo)測量范圍： | 0.01 電極 0～20.00μS·cm 0.1 電極 0～200.0 μS·cm-1 1.0 電極 0～2000 μS·cm-1 10.0 電極 0～20.00 mS·cm-1（其他量程定做） |
TDS測量范圍： | 0.01 電極 0~10 ppm 0.1 電極 0~100 ppm 1.0 電極 0~1000 ppm 10.0 電極 0-10000ppm （其他量程定做） |
分 辨 率： | 0.01kΩ·cm |
精 度： | ±2.0 %(FS） |
自動(dòng)溫度補(bǔ)償： | 0~100℃溫補(bǔ)NTC 10K，以25℃為基準(zhǔn),溫補(bǔ)系數(shù)可修正 |
二、超純水溶解氧在線監(jiān)測分析儀技術(shù)參數(shù)：
量程 | 0-20μg/L（ppb） |
測量精度 | ±1％ F.S |
重復(fù)性 | ±0.5％ F.S |
分辨率 | 0.01μg/L |
穩(wěn)定性 | ±0.5％ F.S/24h |
工作溫度 | 0-50℃ |
溫度精度 | ±1℃ |
溫度重復(fù)性 | ±0.5℃ |
工作大氣壓力 | 40-115kPa |
最大承受壓力 | 1000kPa |
儲存溫度 | -20-70℃ |
超純水電阻率溶解氧在線監(jiān)測分析儀典型應(yīng)用：
▲半導(dǎo)體行業(yè)晶圓清洗超純水系統(tǒng)在線監(jiān)測。
▲光刻工藝超純水電阻率與溶解氧控制。
▲CMP化學(xué)機(jī)械拋光工藝純水品質(zhì)分析。
▲集成電路（IC）制造超純水系統(tǒng)監(jiān)測。
▲LED及液晶面板生產(chǎn)用高純水在線分析。
▲光伏新能源行業(yè)電子級純水系統(tǒng)水質(zhì)監(jiān)測。
▲醫(yī)藥行業(yè)注射用水（WFI）在線監(jiān)測。
▲制藥純化水（PW）系統(tǒng)水質(zhì)連續(xù)檢測。
▲電廠鍋爐補(bǔ)給水與除鹽水系統(tǒng)監(jiān)測。
▲超純水EDI系統(tǒng)出水水質(zhì)分析。
▲工業(yè)高純水制備系統(tǒng)電阻率在線檢測。
▲鍋爐凝結(jié)水及蒸汽系統(tǒng)微量溶解氧監(jiān)測。
▲精細(xì)化工行業(yè)高純工藝用水在線分析。
▲實(shí)驗(yàn)室及科研機(jī)構(gòu)超純水系統(tǒng)水質(zhì)監(jiān)控。
超純水電阻率與溶解氧含量是衡量工業(yè)超純水系統(tǒng)穩(wěn)定性的重要指標(biāo)。ERUN-SZ系列超純水電阻率溶解氧在線監(jiān)測傳感器分析儀通過高靈敏度在線傳感技術(shù)，實(shí)現(xiàn)對μg/L級微量溶解氧及高純水電阻率的精準(zhǔn)監(jiān)測，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子制造、制藥純化水、電廠鍋爐補(bǔ)給水及工業(yè)純水領(lǐng)域。設(shè)備支持連續(xù)在線分析、自動(dòng)溫度補(bǔ)償、遠(yuǎn)程通訊及異常報(bào)警，可幫助企業(yè)及時(shí)發(fā)現(xiàn)EDI異常、管路氧腐蝕、水質(zhì)離子污染等問題，提升超純水系統(tǒng)運(yùn)行安全性與產(chǎn)品工藝穩(wěn)定性。
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